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高密度V型石墨舟皿在防滲碳方面的優勢首要體現在以下方面:
一、涂料層物理阻斷:氮化硼涂層的高效防護
涂層厚度與資料特性
V型石墨舟皿的槽體和石墨片外表涂覆厚度≥0.18mm的氮化硼(BN)涂料層。氮化硼具有優異的化學惰性,在高溫下(如硬質合金燒結的1400-1600℃)不與碳反響,可形成致密隔離層,阻斷碳原子向合金內部的分散途徑。
防滲碳作用驗證
在硬質合金燒結中,該涂層使產品滲碳層硬度下降起伏從傳統結構的15%-20%降至≤5%,保證合金功能穩定。例如,某企業實測數據顯示,運用氮化硼涂層后,YG8硬質合金的鈷磁值波動范圍從±3%收窄至±0.5%,表明滲碳操控精度明顯提高。
二、結構優化:削減碳觸摸與氣體停留
V型槽的幾許優勢
觸摸面積最小化:V型槽經過斜面限位固定產品,相比U型槽,產品與舟皿的觸摸面積削減約40%,下降了碳浸透危險。
氣體流轉規劃:槽面設置的排氣通槽引導脫膠氣體(如氫氣)沿預訂途徑逸出,防止部分氣壓過高導致膠體殘留。在氫氣脫膠工藝中,該規劃使膠體殘留率從15%降至2%以下,削減了因膠體碳化引發的滲碳危險。
棱角維護機制
底部支撐凸起與槽面交界處設置棱角維護槽,將產品與銳邊觸摸轉為平面觸摸,邊角破損率從傳統結構的5.2%降至0.8%。破損削減意味著合金外表暴露面積下降,進一步按捺碳浸透。
三、資料純度與工藝操控:從源頭按捺滲碳
高純度石墨基材
采用固定碳含量≥99.99%的等靜壓石墨,灰分含量≤0.02%,防止Fe、Si等雜質在高溫下催化碳分散。例如,在半導體晶圓傳輸中,高純度石墨舟皿可滿足NAS 1638 Class 3級潔凈度規范(每立方米>0.5μm顆粒<1000個),保證燒結環境無外來碳源污染。
冷等靜壓成型工藝
在200MPa高壓下對石墨粉進行三維均勻壓制,消除內部應力,使石墨在各個方向功能數值完全相同。這種均質結構削減了燒結過程中的部分熱應力,防止因舟皿變形導致產品與槽體觸摸緊密度變化,然后下降滲碳危險。
四、模塊化規劃:適配異形件,削減碳污染危險
可拆卸石墨片
V型槽內可拆卸裝置石墨片,經過層疊不同規格的石墨片適配異形硬質合金件(如段差圓棒/管)。這種規劃無需更換舟皿本體,防止了因頻頻更換導致的舟皿外表損害和碳污染堆集。
石墨限位件
裝置在石墨片上的限位件防止石墨片在V型槽內軸向移動,保證產品定位精度≤0.01mm。精準定位削減了產品與槽體的沖突,下降了因微動導致的碳浸透。
五、運用場景驗證:防滲碳作用的實踐體現
硬質合金燒結
在鎢鈷類(YG)和鎢鈦鈷類(YT)硬質合金燒結中,V型石墨舟皿可使產品合格率提高10%-15%,首要得益于滲碳操控的明顯改進。例如,某企業統計顯示,運用V型舟皿后,因滲碳導致的廢品率從8%降至1.2%。
半導體晶圓傳輸
在12英寸晶圓ALD設備中,V型石墨舟皿的外表溫差<±2℃,定位精度≤±0.005mm,保證晶圓在高溫處理過程中不受碳污染,滿足先進制程對資料純度的苛刻要求。

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